免费试用 原子层沉积:一种循环技术的线性图标,可一次沉积一层原子,从而生长出超薄膜。一个由四个顺时针箭头组成的环连接着单个周期的步骤。顶部,一个三臂前驱体分子代表第一个反应物脉冲,底部,一个较小的弯曲分子代表第二个。. 原子层沉积 (ALD)。交替的前驱体脉冲和清除作用使薄膜一次沉积一层原子. 原子层沉积:一种循环技术的线性图标,可一次沉积一层原子,从而生长出超薄膜。一个由四个顺时针箭头组成的环连接着单个周期的步骤。顶部,一个三臂前驱体分子代表第一个反应物脉冲,底部,一个较小的弯曲分子代表第二个。